高周波電源 プラズマ発生 | プラズマ整合 アイメックス

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プラズマ電源

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自動トランスタップ切換機能により,多様なガス種への整合が可能

プラズマ励起用・高周波電源

IMC-RFPシリーズ 【仕様書PDF

・ 本プラズマ励起用・高周波電源は、平行平板電極用です
・ 自動タップ切換機能により、ガス種類やガス圧力の変化に自動的に整合が可能
・ 出力=1,900w、周波数=50kHz
・ レーザー励起用電源もご用意ができます
  • IMC-RFP5002型

    IMC-RFP5002型

  • 操作パネル/表示系

    操作パネル/表示系

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