その他電源高周波電源
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本格的トランジスタ・インバータによるMHz帯電源を完成 高精度の出力安定性とノン・トラブルを誇ります
主な特徴
・ 商用電源電圧を直接高周波電力に変換し高効率
・ 高周波電流はEUの規制値をクリアします
・ 無調整で殆どの洗浄液や液深に対応が可能
・ 専門技術者による調整などの作業を必要としない
電源型式と主仕様
AS-2862 600w 28kHz
AS-4062 600w 40kHz
AS-28122 1200w 28kHz
AS-40122 1200w 40kHz
・ 弊社専用の振動子にて調整し、出荷されます
・ お客様の指定振動子がある場合は予めご連絡下さい
・ 本電源は、基本的に5台/ロット生産品です
・ 本プラズマ励起用・高周波電源は、平行平板電極用です
・ 自動タップ切換機能により、ガス種類やガス圧力の変化に自動的に整合が可能
・ 出力=1,900w、周波数=50kHz
・ レーザー励起用電源もご用意ができます