誘導加熱 石英管炉 | サセプタ加熱 薄膜形成

◆石英ガラス管内に配置した純カーボンサセプタを、石英ガラス管の外部に配置した加熱コイルにより急速・高温加熱を行います。
◆石英管内に反応ガスなどを流す事により、サセプタ上に配置したターゲット材に薄膜を形成します。
◆石英管内を不活性ガス雰囲気とする事で、無酸素ろう付けや無酸素溶解が可能となります。